在传统横向结构的GaN器件中,电流沿芯片表面流动。而垂直 GaN 的 GaN 层生长在氮化镓衬底上,其独特结构使电流能直接从芯片顶部流到底部,而不是仅在表面流动。这种垂直电流路径让器件能够承受更高的电压和更大的电流,从而实现更高的功率密度、更高的效率和更紧凑的系统设计。
垂直架构:功率技术新高度
垂直 GaN 创新:vGaN 支持高电压和高频率运行, 效率优于硅芯片
先进制造工厂:GaN 研发工作在占地 66,000 平方英尺、 配备 GaN 生产专用工具的洁净室设施中进行
专有 GaN 生长工艺:工程师借助安森美 (onsemi) 独特的专有技术, 直接在 GaN晶圆上生长 GaN 层
市场领先与发展进度:安森美率先实现 vGaN 技术规模化生产, 目前已向早期客户提供 700V 和 1,200V 器件样品
什么是垂直 GaN?
垂直 GaN 结构:GaN 层生长在 GaN 衬底上, 电流可以垂直流过芯片
更高性能:与横向 GaN 器件相比, 可实现更高的电流密度和电压
出色的开关速度:支持的开关频率超越硅和碳化硅技术的能力范围
先进应用:非常适合用于人工智能数据中心、 电动汽车充电桩与主驱逆变器, 以及可再生能源系统
垂直 GaN 与横向 GaN
功率性能比较:

vGaN 正推动众多关键领域的创新和效率提升

安森美的垂直 GaN赋能未来
人工智能数据中心:通过减小 800V 电源转换器的尺寸,提高计算密度
电动汽车:电动汽车充电速度更快,相关设备尺寸更小、效率更高
可再生能源:高效的太阳能逆变器和风能系统,减少能源浪费
航空航天:紧凑、坚固、可靠的高性能电源系统
安森美成功驾驭复杂技术, 助力实现规模化创新
垂直 GaN 技术的重要进展:研究人员对这项技术的探索已逾 15 年。安森美实现垂直 GaN 的商业化, 是制造领域的重要里程碑。
先进制造工艺:垂直 GaN 制造需要在块状衬底上生长厚实且无缺陷的 GaN 层, 这一过程依赖精密外延生长技术和新型制造方法。
创新与专利组合:安森美拥有 130 多项相关专利, 涵盖器件架构和加工工艺, 展现其强大的创新能力和知识产权保护水平。
GaN 的科学原理
纤锌矿结构 - 六方晶系的优势
高键合强度与低本征缺陷
垂直 GaN 晶体的生长和掺杂过程旨在提升其性能和可靠性, 同时简化制造工艺。这一特性使垂直 GaN 有别于硅和碳化硅, 成为未来高能效电子产品的战略材料。
六方晶系的优势:纤锌矿晶体结构提升性能
垂直 GaN 的六方纤锌矿晶体结构是其优异性能的基础。 这一结构赋予其独特的电子特性, 显著增强其耐高压能力, 并有助于电源系统微型化。
这种晶系优势与 pGaN 和 nGaN 的制备方法使垂直 GaN 有别于传统材料,成为推动下一代电子产品性能提升的关键因素。
高精准度:垂直 GaN 在高温环境中表现稳定
垂直 GaN 通过高温生长工艺获得出色的稳定性和性能, 为高能效、 高可靠性电力电子技术的发展提供支撑。
垂直 GaN 器件能够承受超过 1,200 V 的电压。 利用该技术, 已经研制出额定电压达 3,300V 的器件。
Si、 SiC 和 GaN 材料参数
GaN 在高频应用中表现出色

GaN-on-GaN 具备高耐用性
与 GaN-on-Si/GaN-on-SiC 等横向器件相比, 垂直结构的 GaN-onGaN 器件因其同质外延结构, 天然具备更强的稳健性。
垂直 GaN:简单的 GaN-on-GaN 三维结构
垂直 GaN-on-GaN e-JFET 提供了一种可扩展的高导电性功率开关
JFET 沟道利用 GaN的高体迁移率, 实现较低的整体 RDS(ON)
器件结构具备稳健的边缘端接设计,可实现完整的雪崩防护能力
适用于各种应用的功率开关技术
安森美的垂直 GaN 技术不仅是一项技术突破。对于那些寻求在能效、电气化和先进制造领域占据领先地位的企业和国家而言,它更是一项战略资产。
能源需求:以高效率、 高性能的电力电子器件满足 AI 和电动汽车市场日益增长的能源需求
性能和效率:相比传统解决方案, 更小巧、 更轻便、 更高效;支持先进的产品设计
行业投资:为高能效电子产品提供竞争优势, 同时具备技术前瞻性, 能够满足未来市场需求
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